该晶圆制造技术厂最靠近苏北区县,主耍出产方式84英寸半导体设备晶圆,日访问量废水处理工艺进行排放物量约800吨。致使出产方式过程中 中便用大量氢氧化钠实现晶圆蚀刻,会造成废水处理工艺中氟化物氧化还原电位高达hg200-300mg/L,远超国度进行排放物标(10mg/L以上)。
废气材质及的来源
工业废水重要发源五个方面:
晶圆蚀刻工艺
:含高渗透压氟化物(HF)、盐酸及一些天价属
化学上自动化磨光(CMP)废液
:含微米级硅顆粒、无机络合剂
仪器难以清理焦化废水
:含异丙醇、挥发酚等生物碳物
治疗施工顺序施工顺序
主要采用"耐腐蚀水解自己+混疑水解自己+深层油烟净化器"两级操作体统:
考试内容一级补救
:加药氯化钙和氢防氧化钙,组成氟化钙析出,氟化物清理率达85%
一级工作
:使用PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),取除固体态环保问题物
一级治疗
:能够多物质净化器和活性酶类炭吸附性,冒水氟化物浓度值不稳在8mg/L以下的
关键的设备具有:pH定时可以调节平台、斜管积累池、板框带式压滤机(废水脱水器)。
结果功效
品牌行驶几年评估数剧显现:
氟化物月均浓度值:7.2mg/L(达不到政府准则)
COD我们要除率:92%
生活污水含水量率:≤65%
年凭借氟化钙副產品约150吨,变现自然减量化凭借